FprEN 62047-14:2011-11

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Halbleiterbauelemente -

Bauelemente der Mikrosystemtechnik Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe

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Enthält:

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25.11.2011 Historisch
47F/108/FDIS:2011-11
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe

Dieses Dokument entspricht:

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Dokumentart
Schlussentwurf Europäische Norm
Status
Historisch
Erscheinungsdatum
25.11.2011
Zuständiges Gremium
Kontakt
Referat
Stipe Mandic
Merianstr. 28
63069 Offenbach am Main

9_z6v.3r4uztQAuv.t53 Tel. +49 69 6308-573

Referatsassistenz
Betina Vlonga
Merianstr. 28
63069 Offenbach am Main

sv_z4r.A254xrQAuv.t53 Tel. +49 69 6308-431

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