IEC 62047-12:2011-09

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Halbleiterbauelemente -

Bauelemente der Mikrosystemtechnik Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Biege-Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS- Strukturen Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Biege-Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS- Strukturen

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Entwurf war:

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10.06.2011 Historisch
47F/90/RVD:2011-06

Dieses Dokument entspricht:

International

IEC 62047-12:2011-09
Dokumentart
Publikation
Status
Aktuell
Erscheinungsdatum
13.09.2011
Sprache
Englisch
Zuständiges Gremium
DKE/K 631
Kontakt
Referat
Stipe Mandic
Merianstr. 28
63069 Offenbach am Main

9_z6v.3r4uztQAuv.t53 Tel. +49 69 6308-573

Referatsassistenz
Betina Vlonga
Merianstr. 28
63069 Offenbach am Main

sv_z4r.A254xrQAuv.t53 Tel. +49 69 6308-431

Themen

Elektronik-Bauelemente
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