IEC TS 61994-4-4:2018-11
Piezoelektrische, dielektrische und elektrostatische Bauteile und verwandte Materialien zur Frequenzstabilisierung, -
selektion und -erkennung – Wörterverzeichnis Teil 4-4: Piezoelektrische Materialien – Einkristallwafer für Oberflächen-(OFW-)Bauelemente