E DIN EN 63041-1:2016-08

Sensoren auf Basis piezoelektrischer Volumen-

oder Oberflächenwellen - Teil 1: Fachgrundspezifikation (IEC 49/1183A/CD)

Diese Internationale Norm gilt für piezoelektrische Resonanzsensoren und Sensoren mit Verzögerungsleitung, die in den Physik- und Ingenieurwissenschaften, in der Chemie und Biochemie, den Medizin- und Umweltwissenschaften usw. eingesetzt werden. Zweck dieser Norm ist es, die Begriffe für piezoelektrische Sensoren festzulegen und aus technischer Sicht sicherzustellen, dass Anwender die aktuellen piezoelektrischen Sensoren verstehen und wissen, wie sie richtig eingesetzt werden.
Auf der Sitzung in Berlin im Jahr 2015 wurde besprochen, dass es für das Technische Komitee TC 49 an der Zeit ist, mit der Normung piezoelektrischer Sensoren zu beginnen, und zugleich wurde beschlossen, die Arbeitsgruppe WG 13 für Sensoren und Sensorsysteme zu gründen, um die Erstellung entsprechender internationaler Normen zu beschleunigen.
Piezoelektrische Sensoren nach dieser Norm werden in zwei Arten eingeteilt, Resonanzsensoren und Sensoren mit Verzögerungsleitung. Resonanzsensoren werden unterteilt in Volumenwellensensoren (BAW-Sensoren), in denen die BAW-Resonatortechnologien eingesetzt werden, und Oberflächenwellensensoren (OFW-Sensoren), bei denen entweder Gitterelektroden oder Bauteilkanten zur Reflexion der Oberflächenwellen und zum Energieeinfang (energy trapping) verwendet werden. Weitere Hauptbegriffe werden nachfolgend definiert.
Ein piezoelektrischer Sensor ist ein elektronisches Bauelement, das physikalische Größen wie Kraft, Druck, Temperatur usw. als eine Änderung seiner Frequenz, seiner Phasenlage, seines Amplitudenverhältnisses, seines dynamischen Widerstands oder dergleichen erfassen kann, und das zu einer Sensorzelle weiterentwickelt werden soll. Dieser Begriff gilt gleichermaßen für piezoelektrische Resonanzsensoren und Sensoren mit Verzögerungsleitung. Ein Resonanzsensor ist ein piezoelektrischer Sensor, der mit akustischen Resonanzen arbeitet; ein Sensor mit Verzögerungsleitung ist ein piezoelektrischer Sensor mit einer Verzögerungsleitung für transversale Oberflächenwellen.
Zuständig ist das DKE/K 642 "Piezoelektrische Bauteile zur Frequenzstabilisierung und -selektion" der DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE.