FprEN 62047-21:2013-04

Nahaufnahme einer Computer-Platine
photocrew / Fotolia

Bauelemente der Mikrosystemtechnik Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik

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Enthält:

Nahaufnahme einer Computer-Platine
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05.04.2013 Historisch
47F/147A/CDV:2013-04
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik

Dieses Dokument entspricht:

EuropäischInternational

FprEN 62047-21:2013-04

47F/147A/CDV:2013-04
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Dokumentart
Schlussentwurf Europäische Norm
Status
Historisch
Erscheinungsdatum
05.04.2013
Zuständiges Gremium
DKE/K 631

Kontakt

Referat
Stipe Mandic
Merianstr. 28
63069 Offenbach am Main

9_z6v.3r4uztQAuv.t53 Tel. +49 69 6308-573

Referatsassistenz
Betina Vlonga
Merianstr. 28
63069 Offenbach am Main

sv_z4r.A254xrQAuv.t53 Tel. +49 69 6308-431

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