E DIN IEC 62659:2013-09

Nanofertigung -

Großtechnische Produktion von Nanoelektronik (IEC 113/171/CD:2012)

Diese Norm schafft einen Rahmen für die Einführung der Massenfertigung von Nanoelektronik in Halbleiterfabriken durch die Einbindung von Nanomaterialien (z. B. Kohlenstoff-Nanoröhren, Graphen, Quantenpunkte usw.). Seit Halbleiterfabriken neue Methoden einsetzen müssen, um weiterhin hohe Gewinne zu erwirtschaften, sind sehr strenge Anforderungen an die Produktionsprozesse einzuhalten. Nanomaterialien stellen in Halbleiterfabriken einen möglichen Kontaminationsstoff dar und müssen daher strukturiert und methodisch einführt werden.

Diese Norm schlägt generische Maßnahmen vor, die die Einführung von Nanomaterialien in Halbleiterfabriken vereinfachen. Der Ablauf ist im Folgenden für die Bereiche Rohstoffbeschaffung, Materialverarbeitung, Design, IC-Fertigung, Prüfung und Endverwendung beschrieben. Diese Arbeitsabläufe entsprechen den Hauptstufen der Lieferkette einer Halbleiterfabrik.

Zuständig ist das DKE/K 141 "Nanotechnologie" der DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik im DIN und VDE.