Dieses Dokument legt die Messung bzw. Prüfung des Gehalts von Wasserdampf und anderen Gasen in der Innenatmosphäre eines elektronischen Bauelementes mit hermetisch verschlossenen Metall- oder Keramikgehäusen fest. Die Prüfung wird als Merkmal der Prozessqualität bezüglich des hermetischen Verschließens verwendet und liefert Informationen zur chemischen Langzeitstabilität der Atmosphäre im Innern der Gehäuse. Dieses Verfahren ist bei allen Halbleiterbauelementen, die mit einer solchen Gehäusetechnologie montiert werden, anwendbar, allerdings wird es im Allgemeinen nur für Anwendungen hoher Zuverlässigkeit wie im Militär- und Raumfahrtbereich eingesetzt. Dieses Prüfverfahren ist zerstörend.
Die Norm ersetzt DIN EN 60749-7:2003-04; es wurden folgende Änderungen vorgenommen:
a) Die Festlegungen wurde mit den jeweiligen Verfahren 1018 der neuesten Dokumente MIL-STD-750 und MIL-STD-883 in Übereinstimmung gebracht.
b) Die bisherigen alternativen Verfahren, die als Verfahren 2 und Verfahren 3 gekennzeichnet waren, wurden gestrichen.
c) Die Norm wurde hierzu technisch und redaktionell komplett überarbeitet.
Zuständig ist das K 631 „Halbleiterbauelemente“ der DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik im DIN und VDE.
