E DIN IEC 62047-10:2010-05

Halbleiterbauelemente -

Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik (IEC 47F/48/CD:2010)

Die Basiswerkstoffe für Bauteile der Mikrosystemtechnik, Mikromaschinen usw. haben besondere Eigenschaften wie z. B. die üblichen Abmessungen von einigen wenigen Mikrometern, der Werkstoffherstellung durch Dampfabscheidung und der Herstellung von Mikroproben mittels nicht-mechanischer Verarbeitungsverfahren einschließlich der Fotolithografie. Diese Internationale Norm legt ein Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik fest zur Messung von deren Druckeigenschaften mit hoher Genauigkeit, Wiederholbarkeit und einem angemessenen Aufwand bei der Herstellung der Mikroproben. Es werden die durch Druckbeanspruchung verursachten einachsigen Spannungs-Dehnungs-Verhältnisse einer Mikroprobe gemessen und es können sowohl das Elastizitätsmodul bezogen auf Druckbeanspruchung als auch die Dehnungsgrenzen (Fließgrenzen) ermittelt werden.
Die Mikroprobe ist ein zylinderförmiger Stab, der auf einem nicht elastischen (oder sehr steifen) Substrat mithilfe mikrosystemtechnologischer Verfahren hergestellt werden, wobei dessen Aspektverhältnis (Verhältnis von Zylinderdurchmesser zu Zylinderhöhe) größer 3 sein sollte. Diese Norm ist bei Werkstoffen aus Metall, Keramik und Polymeren anwendbar. Das internationale Dokument IEC 47F/48/CD:2010 „Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micropillar compression test for MEMS materials“ (CD, en: Committee Draft) ist unverändert in diesen Norm-Entwurf übernommen worden. Dieser Norm-Entwurf enthält eine noch nicht autorisierte deutsche Übersetzung. Um Zweifelsfälle in der Übersetzung auszuschließen, ist die englische Originalfassung des CD beigefügt.
Zuständig ist das K 631 „Halbleiterbauelemente“ der DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik im DIN und VDE.