E DIN IEC 62047-5:2008-02
Halbleiterbauelemente -
Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 5: Mikro-elektromechanische Schalter für Hochfrequenzanwendungen (HF-MEMS-Schalter) (IEC 47/1928/CD:2007)
Halbleiterbauelemente -
Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 5: Mikro-elektromechanische Schalter für Hochfrequenzanwendungen (HF-MEMS-Schalter) (IEC 47/1928/CD:2007)
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