DIN EN 62417:2010-12

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Prüfverfahren auf mobile Ionen für Feldeffekttransistoren mit Metall-Oxid-Halbleiter (MOSFET)

Kurzdarstellung

In diesem Dokument ist ein Prüfverfahren festgelegt, um den Betrag positiver mobiler Ionen in Oxidschichten von Metall-Oxid-Halbleiter Feld-Effekt-Transistoren auf Waferniveau zu bestimmen. Das Prüfverfahren ist sowohl auf aktive als auch auf parasitäre Feld-Effekt-Transistoren anwendbar. Die mobile Ladung kann Degradationen des mikroelektronischen Bauelementes verursachen, wie eine Schwellspannungsdrift des MOSFET oder eine Basisinversion in Bipolartransistoren.
Die Prüfbeanspruchung auf die Teststrukturen wird bei erhöhter Temperatur ausgeübt, sodass sowohl mobile Ionen die Energiebarriere an den Grenzflächen überwinden können als auch die Ionenbeweglichkeit im Oxid ausreichend hoch ist. In diesem Dokument sind zwei Prüfverfahren festgelegt:
- Spannungs-Temperatur-Beanspruchung (BTS; en: bias temperature stress), die mit Transistoren durchgeführt wird;
- Spannungs-Durchlauf (VS; en: voltage sweep), die mit Kapazoitätsstrukturen durchgeführt wird.
Zuständig ist das K 631 "Halbleiterbauelemente" der DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik im DIN und VDE.

Beziehungen

Enthält:

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07.05.2010 Aktuell
EN 62417:2010-05
Halbleiterbauelemente - Prüfverfahren auf mobile Ionen für Feldeffekttransistoren mit Metall-Oxid-Halbleiter (MOSFET)
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22.04.2010 Aktuell
IEC 62417:2010-04
Halbleiterbauelemente - Prüfverfahren auf mobile Ionen für Feldeffekttransistoren mit Metall- Oxid-Halbleiter (MOSFET)

Entwurf war:

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01.08.2007 Historisch
E DIN IEC 62417:2007-08
Prüfverfahren auf mobile Ionen – BTS-Prüfverfahren – TVS-Prüfverfahren (IEC 47/1904/CD:2007)

Dieses Dokument entspricht:

Dokumentart
Norm
Status
Aktuell
Erscheinungsdatum
01.12.2010
Sprache
Deutsch
Zuständiges Gremium
Kontakt
Referat
Stipe Mandic
Merianstr. 28
63069 Offenbach am Main

9_z6v.3r4uztQAuv.t53 Tel. +49 69 6308-573

Referatsassistenz
Betina Vlonga
Merianstr. 28
63069 Offenbach am Main

sv_z4r.A254xrQAuv.t53 Tel. +49 69 6308-431

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