IEC 62047-10:2011-07
Halbleiterbauelemente -
Bauelemente der Mikrosystemtechnik Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik