47F/15/FDIS:2009-01
Halbleiterbauelemente -
Bauelemente der Mikrosystemtechnik Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen