IEC 60748-23-3:2002-05
Halbleiterbauelemente -
Integrierte Schaltungen Teil 23-3: Integrierte Hybridschaltungen und Schichtstrukturen - Zertifizierung von Fertigungslinien - Selbst-Auditierungs-Checkliste und Bericht Teil 23-3: Integrierte Hybridschaltungen und Schichtstrukturen - Zertifizierung von Fertigungslinien - Selbst-Auditierungs-Checkliste und Bericht