FprEN 62047-17:2013-10

Nahaufnahme einer Computer-Platine
photocrew / Fotolia

Halbleiterbauelemente -

Bauelemente der Mikrosystemtechnik Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten

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Enthält:

Nahaufnahme einer Computer-Platine
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25.10.2013 Historisch
47F/166/CDV:2013-10
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten

Dieses Dokument entspricht:

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Dokumentart
Schlussentwurf Europäische Norm
Status
Historisch
Erscheinungsdatum
25.10.2013
Zuständiges Gremium

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Referat
Stipe Mandic
Merianstr. 28
63069 Offenbach am Main

9_z6v.3r4uztQAuv.t53 Tel. +49 69 6308-573

Referatsassistenz
Betina Vlonga
Merianstr. 28
63069 Offenbach am Main

sv_z4r.A254xrQAuv.t53 Tel. +49 69 6308-431

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