Die Normenreihe DIN EN 62047 legt u. a eine Reihe von Prüfverfahren für Bauelemente der Mikrosystemtechnik (MEMS) fest, mit denen diese Bauelemente hinsichtlich Ihrer Anwendbarkeit bewertet werden können.
Gyroskope werden hauptsächlich in Anwendungsbereichen für Endverbraucher, allgemeine Industrie und Luftfahrt eingesetzt. Die MEMS- und Halbleiterlaser-Technologien werden für die Herstellung von Gyroskopbauteilen in großem Umfang verwendet.
In diesem Teil der DIN EN 62047 sind Begriffe, Kenngrößen und Merkmale für Gyroskope festgelegt. Ferner werden Messverfahren für Skalenfaktor, Querachsenempfindlichkeit, Bias, Ausgangsrauschen, Frequenzband und Auflösung festgeschrieben.
Zuständig ist das K 631 „Halbleiterbauelemente“ der DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik im DIN und VDE.