E DIN IEC 62622:2011-07

Standards
putilov_denis / Fotolia

Beschreibung, Messung und dimensionale Qualitätsparameter von künstlichen Gittern

Kurzdarstellung

Künstliche Gitter spielen sowohl bei der Produktion von nanoskaligen Strukturen als auch bei der Charakterisierung von Nano-Objekten eine wichtige Rolle. Ein Anwendungsgebiet ist die Massenproduktion von integrierten Halbleiterschaltungen mittels Lithographietechnik. Auch bei anderen Produktionsprozessen wird eine hochpräzise nanoskalige Positionierung mit Hilfe von künstlichen Gittern benötigt. Ein weiteres Anwendungsgebiet für künstliche Gitter in der Nanotechnologie ist die Nutzung als Kalibrierstandards für hochauflösende Mikroskope wie SPM, SEM und TEM zur Charakterisierung von nanoskaligen Strukturen.
Das vorliegende Dokument spezifiziert eine generische Terminologie für die globalen und lokalen Qualitätsparameter von künstlichen Gittern, die als Abweichungen von den nominalen Positionen der Gitterelemente zu sehen sind. Das Dokument konzentriert sich auf die Spezifikation von Qualitätsparametern (von künstlichen Gittern), ausgedrückt als Abweichung von den nominalen Positionen der Gittermerkmale, und es enthält Leitlinien für die Anwendung verschiedener Kategorien von Mess- und Evaluierungsmethoden für die Kalibrierung und Charakterisierung von Gittern. Es unterstützt damit die Qualitätssicherung in der Produktion und die Anwendung von künstlichen Gittern in den verschiedenen Anwendungsgebieten der Nanotechnologie. Die Spezifikationen und beschriebenen Methoden sind universell für eine Vielzahl von verschiedenen Gitterarten anwendbar, jedoch liegt der Fokus auf 1D- und 2D-Gittern.
Zuständig ist das K 141 „Nanotechnologie“ der DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik im DIN und VDE.

Beziehungen

Enthält:

Standards
putilov_denis / Fotolia
14.01.2011 Historisch
113/102/CD:2011-01

Dieses Dokument entspricht:

Dokumentart
Entwurf
Status
Historisch
Erscheinungsdatum
01.07.2011
Bereitstellungsdatum
04.07.2011
Einspruchsfrist
11.09.2011
Sprache
Deutsch
Zuständiges Gremium
Kontakt
Referat
Elena Rongen
Merianstr. 28
63069 Offenbach am Main

v2v4r.854xv4QAuv.t53 Tel. +49 69 6308-429

DKE Newsletter-Seitenbild
sdx15 / stock.adobe.com

Mit unserem DKE Newsletter sind Sie immer top informiert! Monatlich ...

  • fassen wir die wichtigsten Entwicklungen in der Normung kurz zusammen
  • berichten wir über aktuelle Arbeitsergebnisse, Publikationen und Entwürfe
  • informieren wir Sie bereits frühzeitig über zukünftige Veranstaltungen
Ich möchte den DKE Newsletter erhalten!

Werden Sie aktiv!

Ergebnisse rund um die Normung