DIN EN 62047-4:2011-03

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Bauteile der Mikrosystemtechnik Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik

Kurzdarstellung

Dieser Teil der DIN EN 62047 dient als Hilfe für das Erstellen von Normen zur Beschreibung von Bauteilen und Systemen, welche mittels mikrostrukturtechnischer Verfahren hergestellt werden, und umfasst ohne ausschließliche Beschränkung: Werkstoffcharakterisierungen und Handling, Montage und Prüfungen sowie Angaben zu Prozessregelung und Messverfahren. Bauteile der Mikrosystemtechnik, die in dieser Norm beschrieben sind, werden grundsätzlich auf der Basis von Halbleiter-Werkstoffen hergestellt. Trotzdem sind die Festlegungen dieser Norm auch auf Mikrobauteile anwendbar, bei denen keine Halbleiter-Werkstoffe verwendet werden, wie beispielsweise Polymere, Gläser, Metalle und Keramiken.
In diesem Teil der DIN EN 62047 sind Fachgrundspezifikationen (Generic Specifications) für Bauteile der Mikrosystemtechnik (MST), welche auf Basis von Halbleitern hergestellt werden (MEMS), als Grundlage für Spezifikationen beschrieben, welche in anderen Teilen dieser Serie für unterschiedliche MST-Anwendungsbereiche angegeben sind, wie zum Beispiel Sensoren und RF-MEMS, aber nicht für Opto-MEMS, Bio-MEMS, Mikro-TAS und Power-MEMS. Diese Norm enthält Festlegungen sowohl zu allgemeinen Verfahren für die Qualitätsbewertung, um sie innerhalb des IECQ-CECC-Systems zu verwenden, als auch allgemeine Prinzipien zur Beschreibung und Messung bzw. Prüfung von elektrischen, optischen, mechanischen und umgebungsspezifischen Kenngrößen.
Zuständig ist das K 631 "Halbleiterbauelemente" der DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik im DIN und VDE.

Beziehungen

Enthält:

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15.10.2010 Aktuell
EN 62047-4:2010-10
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik
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21.08.2008 Aktuell
IEC 62047-4:2008-08
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik

Entwurf war:

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01.09.2006 Historisch
E DIN IEC 62047-4:2006-09
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Bauteile der Mikrosystemtechnik (IEC 47/1857/CD:2006)

Dieses Dokument entspricht:

Dokumentart
Norm
Status
Aktuell
Erscheinungsdatum
01.03.2011
Sprache
Deutsch
Zuständiges Gremium
Kontakt
Referat
Stipe Mandic
Merianstr. 28
63069 Offenbach am Main

9_z6v.3r4uztQAuv.t53 Tel. +49 69 6308-573

Referatsassistenz
Betina Vlonga
Merianstr. 28
63069 Offenbach am Main

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