DIN EN 62047-3:2007-02

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Halbleiterbauelemente -

Bauteile der Mikrosystemtechnik Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für die Prüfung der Zugbeanspruchung

Beziehungen

Enthält:

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20.09.2006 Aktuell
EN 62047-3:2006-09
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für die Prüfung der Zugbeanspruchung
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16.08.2006 Aktuell
IEC 62047-3:2006-08
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für die Prüfung der Zugbeanspruchung

Entwurf war:

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01.08.2004 Historisch
E DIN IEC 62047-3:2004-08
Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe (IEC 47/1760/CD:2004)

Dieses Dokument entspricht:

Dokumentart
Norm
Status
Aktuell
Erscheinungsdatum
01.02.2007
Sprache
Deutsch
Zuständiges Gremium
Kontakt
Referat
Stipe Mandic
Merianstr. 28
63069 Offenbach am Main

9_z6v.3r4uztQAuv.t53 Tel. +49 69 6308-573

Referatsassistenz
Betina Vlonga
Merianstr. 28
63069 Offenbach am Main

sv_z4r.A254xrQAuv.t53 Tel. +49 69 6308-431

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