EN 62047-8:2011-05

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Halbleiterbauelemente -

Bauelemente der Mikrosystemtechnik Teil 8: Streifen-Biege-Prüfverfahren zur Messung von Zugbeanspruchungsmerkmalen dünner Schichten

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Enthält:

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14.03.2011 Aktuell
IEC 62047-8:2011-03
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 8: Streifen-Biege-Prüfverfahren zur Messung von Zugbeanspruchungsmerkmalen dünner Schichten - Teil 8: Streifen-Biege-Prüfverfahren zur Messung von Zugbeanspruchungsmerkmalen dünner Schichten

Entwurf war:

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17.12.2010 Historisch
FprEN 62047-8:2010-12
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik -- Teil 8: Streifen-Biege-Prüfverfahren zur Messung von Zugbeanspruchungsmerkmalen dünner Schichten

Dieses Dokument entspricht:

EuropäischInternational

EN 62047-8:2011-05

IEC 62047-8:2011-03
Dokumentart
Europäische Norm
Status
Aktuell
Erscheinungsdatum
06.05.2011
Sprache
Deutsch
Zuständiges Gremium
DKE/K 631
Kontakt
Referat
Stipe Mandic
Merianstr. 28
63069 Offenbach am Main

9_z6v.3r4uztQAuv.t53 Tel. +49 69 6308-573

Referatsassistenz
Betina Vlonga
Merianstr. 28
63069 Offenbach am Main

sv_z4r.A254xrQAuv.t53 Tel. +49 69 6308-431

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Elektronik-Bauelemente
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