FprEN 62047-12:2011-03
Halbleiterbauelemente -
Bauelemente der Mikrosystemtechnik Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen
Halbleiterbauelemente -
Bauelemente der Mikrosystemtechnik Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen
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