IEC 62047-6:2009-04
Halbleiterbauelemente -
Bauelemente der Mikrosystemtechnik Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen