IEC 60748-23-2:2002-05
Halbleiterbauelemente -
Integrierte Schaltungen Teil 23-2: Integrierte Hybridschaltungen und Schichtstrukturen - Zertifizierung von Fertigungslinien - Innere Sichtkontrolle und spezielle Prüfungen Teil 23-2: Integrierte Hybridschaltungen und Schichtstrukturen - Zertifizierung von Fertigungslinien - Innere Sichtkontrolle und spezielle Prüfungen