Die Mikrosystemtechnik ist ein hochinnovativer und zukunftsweisender Technologiebereich, der aus der reinen Forschung und Entwicklung vielfach bereits den Übergang zur angewandten Technik vollzogen hat. Die Basiswerkstoffe für Bauteile der Mikrosystemtechnik, Mikromaschinen usw. haben besondere Eigenschaften wie z. B. die üblichen Abmessungen von einigen wenigen Mikrometern, der Werkstoffherstellung durch Dampfabscheidung und der Herstellung von Mikroproben mittels nicht-mechanischer Verarbeitungsverfahren einschließlich der Fotolithografie. Dünnschicht-Werkstoffe sind die hauptsächlichen Basiswerkstoffe für Bauteile der Mikrosystemtechnik (MEMS) oder Mikrobauteile.
Vor dem Hintergrund eines rasch wachsenden Marktes für alle Arten von mikrosystemtechnischen Bauteilen nehmen auch die Forderungen nach entsprechenden Internationalen Normen und Spezifikationen stetig zu. Diesen Forderungen kommt die Internationale Elektrotechnische Kommission (IEC) mit den Arbeiten eines eigenen Unterkomitees nach, in dem eine breite Basis des Expertenwissens vorhanden ist, um die Arbeiten effektiv durchzuführen. Wie die Projekte aus dem Arbeitsprogramm dieses IEC-Unterkomitees zeigen (siehe beigefügte Aufstellung), werden vermehrt genormte Prüfverfahren, Werkstoff- sowie Zuverlässigkeitsprüfungen, aber auch Kennwerte und Charakteristiken bestimmter Bauteile nachgefragt.
Seit längerer Zeit bereits wurden Normen und Standards für die Mikrosystemtechnik in einer WG des IEC-Komitees TC 47 „Semiconductor devices“ bearbeitet. Die Normungs- und Standardisierungsaktivitäten des IEC/TC 47 zur Mikrosystemtechnik wurden 2007 durch die Gründung eines eigenständigen Unterkomitees IEC/SC 47F „Micro-electromechanical systems“ ausgebaut, um den gesamten Bereich der mikrosystemtechnischen Produkte abzudecken. Mit der Sekretariatsführung des IEC/SC 47F wurde das japanische Nationale Komitee der IEC beauftragt.
In Deutschland werden die mikrosystemtechnischen Normungsaktivitäten weiterhin durch das DKE/K 631 „Halbleiterbauelemente“ begleitet. Der Arbeitskreis 631.0.1 „MEM“, in dem Experten aus Forschungsinstituten und Industrie mitarbeiten, ist die DKE-Plattform für die Beratungen der Normenreihe IEC 62047, die unter dem Titel „Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik“ als DIN EN 62047 in das Deutsche Normenwerk übernommen wird.
Zur Zeit wird die Normungsarbeit zu dieser Thematik innerhalb des IEC/TC 47 vornehmlich von Experten aus Fernost geprägt. Bei der enormen wirtschaftlichen Bedeutung dieser zukunftsorientierten Technologie für Deutschland, das in Europa eine führende Rolle in der Mikrosystemtechnik einnimmt, ist eine aktive Mitgestaltung der Arbeiten durch deutsche Experten erforderlich, um den Übergang dieser hochinnovativen und zukunftsweisenden Technologie im Interesse der deutschen Wirtschaft mitzugestalten. Nur eine aktive Teilnahme am Normungsgeschehen sichert hier nachhaltigen Einfluss. Aus diesem Grund sind weitere Experten der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik in diesem Arbeitskreis stets willkommen.
Die beigefügte Aufstellung auf der rechten Seite unter "Downloads + Links" zeigt den Stand der Arbeiten zur Normung mikrosystemtechnischer Bauelemente.
Die genannten Normen können Sie beim Beuth Verlag beziehen.